项目简介
多自由度精密位移平台由压电马达驱动，包含传感器、驱动器和控制器等部件，是精密仪器运动控制系统的核心部分，也是精密加工设备、医疗设备、微电子制造检测设备、测量仪器、印刷设备、生物医疗设备、自动化生产线的关键组件。其压电马达具有高分辨率、小尺寸、低能耗等特点，其运动控制部分采用先进的EtherCAT（通用超高速以太网现场总线）方案，使系统不仅更简洁、更灵活，还具有更好的实时性。
压电二维平台
压电Z轴台
压电式显微操作台
应用范围
本项目产品主要针对医疗设备、精密测量设备和微纳米加工市场，可应用于高端微电子装备、精密仪器仪表、计算机、工业控制系统、航空航天、智能机器人等领域。主要客户为光学,电子显微镜制造商,DNA、细胞及组织检测设备制造商,纳米材料研究及生产单位。
项目阶段
多自由度精密位移平台重复定位精度：优于1.0μm，最小步长：优于0.1μm，驱动方式：单相脉冲， 最大速度： 大于200mm/s， 最大加速度：2g， 最大行程：300mm，可多轴同步驱动：控制时延时不超过100μs。
知识产权
本项目申请了多项专利，其中2项发明专利和6项实用新型专利已经授权，申请了2项软件著作权。
研制的具有纳米分辨率六轴压电微机电系统
合作方式
合作开发，技术转让、技术入股。
联系方式
邮箱：kjkfb@pku.edu.cn
